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6月18日消息，佳能宣布將于2022年8月初發(fā)售 KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級配件包（以下簡稱“Grade10”升級包）。 據(jù)介紹，KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”自發(fā)售至今，已經(jīng)在生產(chǎn)存儲器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造廠商中收獲良好口碑。新發(fā)布的“Grade10”升級包能夠在 300mm 晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上，實現(xiàn)每小時 300 片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外，這一升級包將于2023年在 KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。