美國世偉洛克Swagelok閥門中國總代理（上海穆科閥門有限公司）

世偉洛克隔膜密封閥系列

DP 系列無彈簧隔膜閥

適合超高純度應用

316L VIM-VAR 不銹鋼閥體

低壓和高壓兩種閥型

VCR?、卡套管對焊和模塊式表面安裝端接

手動或氣動執(zhí)行機構

DL 和 DS 系列隔膜閥

無填料, 全金屬殼體

壓力從真空至 3500 psig (241 bar)

溫度從 73 至 121°C (100 至 250°F)

LD 系列隔膜閥

工作壓力高達 300 psig (20.6 bar)

開關、散裝氣體分配以及隔離服務

鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料

1/4 至 1 in.、12 至 25 mm 端接

DF 系列高流量, 無彈簧隔膜閥

316L VAR 不銹鋼閥體

工作壓力可達 300 psig (20.6 bar)

1/4, 3/8 和 1/2 in. ；10 和 12 mm 端接

DRP 系列超高純含氟聚合物隔膜閥

氣動和四分之一圈手動 2 通和 3 通型；帶有流量可調和旁通功能的氣動型和手動型

改進型 PTFE 潤濕部件和聚丙烯執(zhí)行機構

符合針對超高純系統(tǒng)組件的 SEMI 標準 F57- 0 3 01

細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar? Super 300 端接標準; 可提供 Flowell, 空間節(jié)約型和其它端接

可提供定制閥組和組件

ALD系列原子層沉積用隔膜閥

高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命

Cv 0.27 到 0.62

耐熱執(zhí)行器、耐溫高達 200°C（392°F）

電子執(zhí)行器位置傳感選購件

適合采用 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的超高純應用場合

VCR?、卡套管對焊和模塊化表面安裝端接

典型型號

零部件號：6LVV-ALD3TFR4-P-C

描述：316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器

規(guī)格摘要

機體材料316L VIM-VAR

連接1規(guī)格1/4 in.

連接1類型內螺紋 VCR? 金屬墊片面密封接頭

連接2規(guī)格1/4 in.

連接2類型內螺紋 VCR? 金屬墊片面密封接頭

清潔工藝超高純工藝規(guī)范 (SC-01)