半導體類設備搬遷是明通“設備搬遷”產品的一個細分類別，因其生產廠家多、品種發(fā)展快，致設備門類及型號較多，可包括：晶圓清洗設備、熱處理設備、離子注入設備、PVD（物相沉積）設備、光刻設備、涂布/顯影設備、刻蝕/去膠/灰化設備、CMP（化學機械拋光）設備/電鍍系統(tǒng)設備、半導體工藝用石墨元件等不同類別設備及器材等，凡以上設備器材納入重型物流工程項目的，統(tǒng)稱為半導體類設備搬遷
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