對(duì)于如凈化車間的空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，凈化車間常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧和超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

從確保如凈化車間內(nèi)相對(duì)濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當(dāng)潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度精度要求≤±10%時(shí)不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法，噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個(gè)噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風(fēng)中，而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此，凈化車間選擇干蒸汽加濕的加濕量時(shí)應(yīng)考慮其噴蒸的效率。

對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物凈化車間其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，這類凈化工程只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。

SMT車間無(wú)塵車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn): 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%電子制造業(yè)潔凈車間溫濕度標(biāo)準(zhǔn):

芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。需要消除靜電，并使人也感覺舒適。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。