檢測(cè)方案:是潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室長期運(yùn)行的保證。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的特殊性,除了進(jìn)行嚴(yán)格的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試外,為確保其性,必須對(duì)其進(jìn)行必要的工程檢測(cè)和嚴(yán)格的驗(yàn)收,達(dá)到要求和使用要求后才可投入運(yùn)行。另外,使用過程中的一些因素,如非專業(yè)的管理和使用,過濾器的更換等,都會(huì)對(duì)實(shí)驗(yàn)室的性產(chǎn)生影響,因此,使用中的定期檢測(cè)與同樣重要。
無菌試驗(yàn)室-潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室整體解決方案,根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的要求和使用要求,要不同于一般的實(shí)驗(yàn)室工程或凈化工程。從本公司自身特點(diǎn)來看,憑借對(duì)用戶需求的深刻理解,精湛的咨詢顧問和工程設(shè)計(jì)施工方面的專家隊(duì)伍,先進(jìn)的規(guī)劃運(yùn)營理念和與國際品牌供應(yīng)商的良好合作關(guān)系,形成了一套完善的潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室解決方案。它具有高性、專業(yè)化、整體性、模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化等特點(diǎn)
模塊化:為潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室用戶設(shè)計(jì)方案時(shí),采用工業(yè)化、標(biāo)準(zhǔn)化的運(yùn)作理念,將多年的凈化工程項(xiàng)目進(jìn)行歸納整理,就是將復(fù)雜的潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目進(jìn)行模塊化,便于恰當(dāng)?shù)母鶕?jù)用戶的不同情況和特點(diǎn)以及需求,進(jìn)行了更優(yōu)化的組合。在提供的方案中采用因地制宜的做法,把建筑裝修、配電、空調(diào)、消防全都做成標(biāo)準(zhǔn)化的方案,制定具有針對(duì)性的方案設(shè)計(jì)。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。