各種物件在送入無塵區(qū)前有必要通過凈化處理，簡稱;物凈。

物料凈化道路與人凈道路應分隔，如果物料與人員只能在同一處進入無塵車間，也有必要分門而入，物料先通過粗凈化處理。

關于出產(chǎn)流水線不強的場合在物料道路中心可設中心庫。

如果出產(chǎn)流水線很強，則選用直通式物料道路，有時還需求在直通道路中心設屢次凈化、傳遞設備。

在體系規(guī)劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區(qū)應堅持負壓或零壓，如果污染危險性大則對進口方向也要堅持負壓。

房間技能夾層。這種方法和頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風管道返回上夾層所需的技能夾道。夾道內還可設回風機動力設備配電等，某層無塵車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。

上下夾層內的水平管線一般都要轉向為豎向管線，這此豎向管線地點的蔭蔽空間即技能夾道。技能夾道還能夠放置不宜在無塵車間內的一些輔佐設備，乃至還能夠作為一般回風管道或靜壓箱，有的可安設光管型散熱器。

這類技能夾道（墻）由于大多選用輕質間隔，所以當工藝調整時，可方便地進行調整。