防靜電車間無塵裝修對于現(xiàn)代工業(yè),尤其是電子工業(yè)領(lǐng)域的工廠廠房實驗室建設(shè)起著重要作用。據(jù)報道,日本曾統(tǒng)計,不合格的電子器件中有45%是靜電放電危害造成。在電子工業(yè)領(lǐng)域,全球每年因靜電造成的損失高達百億。防靜電車間無塵級別是多少?一、靜電對產(chǎn)品的損傷
(一)靜電損傷的兩種失效形式
1)硬損傷:又稱“突發(fā)性完全失效”“一次性損壞”約占10%。表現(xiàn)為器件電參數(shù)突然劣化,失去原有功能。主要原因是靜電放電造成過壓使得介質(zhì)被擊穿,或過流使得內(nèi)部電路金屬導線熔斷、硅片局部融化等。硬損傷可通過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn),相對軟失效而言危害要小得多。
2)軟損傷:又稱“潛在性緩慢失效”“多次損傷累積后失效”約占90%。受到軟損傷的器件,雖然當時各類電參數(shù)仍合格,然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng),可靠性變差,可能會在后續(xù)過程中繼續(xù)遭受ESD軟損傷或其它過應力損傷積累而過早地失效。由于軟損傷是潛在的,運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來,特別是器件被裝入整機產(chǎn)品之后,因此具有更大的危害性。
防靜電無塵車間裝修裝修設(shè)計標準及防護對策
1、ESD控制的基本原則
1)做好ESD防護設(shè)計:器件選型、合理布線、設(shè)計保護電路等。
2)消除和減少靜電的產(chǎn)生:減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程和材料處于等電勢等。
3)使靜電荷瀉放與中和:使用靜電導體、接地、電離器來瀉放與中和靜電,如下圖
4)保護產(chǎn)品免遭ESD傷害:使用防靜電材料包裝和儲運。如下圖
2、防靜電區(qū)設(shè)計原則
1)抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用塑料、有機玻璃、普通塑料袋。
2)、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷,使用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。
3)保證靜電壓小于100V。
3、防靜電系統(tǒng)要素
1)地面:防靜電地面(防靜電水磨石,防靜電地板)體電阻105~109Ω,敷設(shè)地線網(wǎng)。
2)接地:
a防靜電工作區(qū)必須有的防靜電接地裝置,地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接,不得與防雷地線共用,使用三相五線制供電時,其地線可以作防靜電地線。
b工作臺面、地墊等
過去,對靜電影響的意識不太明顯,因此不乏出現(xiàn)凈化車間施工中因靜電造成的不同嚴重程度的危害。其實,當凈化車間靜電的累積達到一定程度時,對凈化工程質(zhì)量、凈化效果、設(shè)備等帶來很大影響,嚴重的會出現(xiàn)爆炸。那么要從凈化車間施工哪些角度入手,以便做好防靜電措施呢?
1、凈化車間施工的濕度因根據(jù)地域的不同,來設(shè)置符合潔凈區(qū)標準的屬性值,并維持在恒定狀態(tài),來防止靜電的產(chǎn)生。
2、凈化車間施工的地面材料應具防靜電特性,可控制因人員走動產(chǎn)生的靜電。
3、凈化車間施工時,半導體的設(shè)備或零件應存放在防靜電的容器中,這樣可以有效防止靜電的產(chǎn)生。
4、凈化車間施工中可使用防靜電設(shè)備,如離子頭、離子棒等。
5、半導體器件應盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中,其一般均會具有良好導電性能,可有效防止凈化車間之中靜電的產(chǎn)生。
微電子無塵車間設(shè)計中往往會因為靜電引起事故發(fā)生,因此在微電子無塵車間的設(shè)計裝修上,防靜電能力已經(jīng)成為評價其質(zhì)量的一個重要方面。微電子無塵車間靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,例如氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服與衣服之間的摩擦,再加上工藝上的研磨、噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作等可能產(chǎn)生靜電。