防靜電車間的整體建設(shè)應(yīng)由專業(yè)的防靜電工程公司來設(shè)計(jì)施工,具體主要有以下幾個(gè)方面的項(xiàng)目:
1. 零電位系統(tǒng)的設(shè)計(jì)(很重要,是所有防靜電工作的基礎(chǔ));
2.車間的凈化等級(jí)的考慮;
3. 空調(diào)及通風(fēng)設(shè)施的防靜電設(shè)計(jì);
4. 防靜電地板;
5.防靜電工作臺(tái)的設(shè)計(jì);
6.使用專用印刷線路板的焊錫爐;
7. 防靜電專用測試儀器;
8.整體安裝生產(chǎn)工藝的合理設(shè)計(jì),符合防靜電的要求。
靜電對(duì)電子元器件的危害:
靜電的基本物理特征:吸引與排斥的力量;與大地間有電位差;產(chǎn)生放電電流由于這些特征,靜電放電對(duì)半導(dǎo)體器件可能產(chǎn)生以下破壞:
1)薄的氧化層被擊穿;
2)泄漏電流密度高,引起導(dǎo)體燒熔;
3)引起過早失效的漏電流增加,擊穿電壓變化對(duì)器件的功能性破壞。盡管靜電敏感器件的內(nèi)部已進(jìn)行了保護(hù)處理,但這僅僅是當(dāng)電荷傳遞局限于一定尺寸和持續(xù)一定的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行才有效。據(jù)有關(guān)檢測報(bào)告證明,靜電放電的損害往往只有1O%造成電子元器件當(dāng)時(shí)失效,通常表現(xiàn)為短路、開路以及參數(shù)的嚴(yán)重變化,超出其額定范圍,器件喪失了其特定的功能;另外的90%會(huì)潛伏下來,造成積累效應(yīng)。一般情況下,一次ESD還不足以引起器件立即失效,但元件內(nèi)部會(huì)存在某種程度的輕微損傷,通常表現(xiàn)為參數(shù)有小的偏差或漂移。潛在的失效并不明顯,因而極易被人們忽視。若這種元器件繼續(xù)工作,隨著ESD次數(shù)的增加,積累效應(yīng)就會(huì)越來越明顯,其損傷程度會(huì)加劇,后導(dǎo)致失效。
靜電的產(chǎn)生在工業(yè)生產(chǎn)中是不可避免的,靜電放電(ESD)造成的危害:
引起電子設(shè)備的故障,造成電磁干擾。擊穿集成電路和精密的電子元件,吸附灰塵,造成集成電路和半導(dǎo)體元件的污染,降低生產(chǎn)成品率。高壓靜電放電造成電擊,危及人身。在易燃易爆品或粉塵、油霧的生產(chǎn)場所極易引起爆炸和火災(zāi)等。
完善有效的防靜電系統(tǒng)工程要依照不同企業(yè)和不同作業(yè)對(duì)象的實(shí)際情況,制定相應(yīng)的對(duì)策和相關(guān)防靜電產(chǎn)品的使用。防靜電措施應(yīng)是系統(tǒng)的、的,否則,可能會(huì)事倍功半,甚至造成破壞性的反作用。
微電子無塵車間設(shè)計(jì)中往往會(huì)因?yàn)殪o電引起事故發(fā)生,因此在微電子無塵車間的設(shè)計(jì)裝修上,防靜電能力已經(jīng)成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)重要方面。微電子無塵車間靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,例如氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服與衣服之間的摩擦,再加上工藝上的研磨、噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作等可能產(chǎn)生靜電。