靜電對電子元器件的危害：

靜電的基本物理特征：吸引與排斥的力量；與大地間有電位差；產(chǎn)生放電電流由于這些特征，靜電放電對半導(dǎo)體器件可能產(chǎn)生以下破壞：

1)薄的氧化層被擊穿；

2)泄漏電流密度高，引起導(dǎo)體燒熔；

3)引起過早失效的漏電流增加，擊穿電壓變化對器件的功能性破壞。盡管靜電敏感器件的內(nèi)部已進(jìn)行了保護(hù)處理，但這僅僅是當(dāng)電荷傳遞局限于一定尺寸和持續(xù)一定的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行才有效。據(jù)有關(guān)檢測報(bào)告證明，靜電放電的損害往往只有1O％造成電子元器件當(dāng)時(shí)失效，通常表現(xiàn)為短路、開路以及參數(shù)的嚴(yán)重變化，超出其額定范圍，器件喪失了其特定的功能；另外的90％會(huì)潛伏下來，造成積累效應(yīng)。一般情況下，一次ESD還不足以引起器件立即失效，但元件內(nèi)部會(huì)存在某種程度的輕微損傷，通常表現(xiàn)為參數(shù)有小的偏差或漂移。潛在的失效并不明顯，因而極易被人們忽視。若這種元器件繼續(xù)工作，隨著ESD次數(shù)的增加，積累效應(yīng)就會(huì)越來越明顯，其損傷程度會(huì)加劇，后導(dǎo)致失效。

常見的靜電消除手段

根據(jù)靜電產(chǎn)生的原理和途徑不同，電子生產(chǎn)場所通常采用以下方法來進(jìn)行靜電的控制：

1、接地

2、靜電屏蔽

3、靜電中和

4、增加濕度

5、降低材料表面電導(dǎo)率

防靜電無塵車間裝修裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及防護(hù)對策

1、ESD控制的基本原則

1)做好ESD防護(hù)設(shè)計(jì)：器件選型、合理布線、設(shè)計(jì)保護(hù)電路等。

2)消除和減少靜電的產(chǎn)生：減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程和材料處于等電勢等。

3)使靜電荷瀉放與中和：使用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放與中和靜電，如下圖

4)保護(hù)產(chǎn)品免遭ESD傷害：使用防靜電材料包裝和儲(chǔ)運(yùn)。如下圖

2、防靜電區(qū)設(shè)計(jì)原則

1)抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用塑料、有機(jī)玻璃、普通塑料袋。

2)、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，使用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)箱。

3)保證靜電壓小于100V。

3、防靜電系統(tǒng)要素

1)地面：防靜電地面（防靜電水磨石，防靜電地板）體電阻105～109Ω，敷設(shè)地線網(wǎng)。

2)接地：

a防靜電工作區(qū)必須有的防靜電接地裝置，地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，使用三相五線制供電時(shí)，其地線可以作防靜電地線。

b工作臺(tái)面、地墊等

過去，對靜電影響的意識不太明顯，因此不乏出現(xiàn)凈化車間施工中因靜電造成的不同嚴(yán)重程度的危害。其實(shí)，當(dāng)凈化車間靜電的累積達(dá)到一定程度時(shí)，對凈化工程質(zhì)量、凈化效果、設(shè)備等帶來很大影響，嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)爆炸。那么要從凈化車間施工哪些角度入手，以便做好防靜電措施呢?

1、凈化車間施工的濕度因根據(jù)地域的不同，來設(shè)置符合潔凈區(qū)標(biāo)準(zhǔn)的屬性值，并維持在恒定狀態(tài)，來防止靜電的產(chǎn)生。

2、凈化車間施工的地面材料應(yīng)具防靜電特性，可控制因人員走動(dòng)產(chǎn)生的靜電。

3、凈化車間施工時(shí)，半導(dǎo)體的設(shè)備或零件應(yīng)存放在防靜電的容器中，這樣可以有效防止靜電的產(chǎn)生。

4、凈化車間施工中可使用防靜電設(shè)備，如離子頭、離子棒等。

5、半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中，其一般均會(huì)具有良好導(dǎo)電性能，可有效防止凈化車間之中靜電的產(chǎn)生。