同樣,使用抗靜電彩鋼板也可大大降低靜電的危害??轨o電彩鋼墻板對耗散靜電負(fù)荷有明顯效果,抗靜電機房彩鋼墻板表面的抵抗值10的5—8次方歐姆,靜電荷減弱至1秒以下,這樣確保防靜電墻板品防靜電性能和用戶使用的性。
采用防靜電材料進(jìn)行無塵車間裝修是做抗靜電是基礎(chǔ)的設(shè)計,也是有效的方法,能將無塵車間內(nèi)的靜電危害降到。
除了前期的防靜電設(shè)計,在后期無塵車間的日常維護(hù)中,也有許多有用的防靜電妙招。比如,控制好無塵車間內(nèi)部的濕度在合理范圍內(nèi),有合理的濕度能降低靜電的產(chǎn)生。使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施,使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。使用防靜電盛放器,此類盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然,有條件的也可放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。操作人員可以佩戴防靜電手帶,這種手帶應(yīng)有良好的接地性能,也是不錯的防靜電措施。
電子加工、微電子、光學(xué)、精密機械等企業(yè)經(jīng)常因無法把握靜電源的發(fā)生而,靜電其實并不可怕,只要掌握了科學(xué)的方法,就可以進(jìn)行有效控制。
防靜電車間無塵裝修對于現(xiàn)代工業(yè),尤其是電子工業(yè)領(lǐng)域的工廠廠房實驗室建設(shè)起著重要作用。據(jù)報道,日本曾統(tǒng)計,不合格的電子器件中有45%是靜電放電危害造成。在電子工業(yè)領(lǐng)域,全球每年因靜電造成的損失高達(dá)百億。防靜電車間無塵級別是多少?一、靜電對產(chǎn)品的損傷
(一)靜電損傷的兩種失效形式
1)硬損傷:又稱“突發(fā)性完全失效”“一次性損壞”約占10%。表現(xiàn)為器件電參數(shù)突然劣化,失去原有功能。主要原因是靜電放電造成過壓使得介質(zhì)被擊穿,或過流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、硅片局部融化等。硬損傷可通過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn),相對軟失效而言危害要小得多。
2)軟損傷:又稱“潛在性緩慢失效”“多次損傷累積后失效”約占90%。受到軟損傷的器件,雖然當(dāng)時各類電參數(shù)仍合格,然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng),可靠性變差,可能會在后續(xù)過程中繼續(xù)遭受ESD軟損傷或其它過應(yīng)力損傷積累而過早地失效。由于軟損傷是潛在的,運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來,特別是器件被裝入整機產(chǎn)品之后,因此具有更大的危害性。
靜電對電子元器件的危害:
靜電的基本物理特征:吸引與排斥的力量;與大地間有電位差;產(chǎn)生放電電流由于這些特征,靜電放電對半導(dǎo)體器件可能產(chǎn)生以下破壞:
1)薄的氧化層被擊穿;
2)泄漏電流密度高,引起導(dǎo)體燒熔;
3)引起過早失效的漏電流增加,擊穿電壓變化對器件的功能性破壞。盡管靜電敏感器件的內(nèi)部已進(jìn)行了保護(hù)處理,但這僅僅是當(dāng)電荷傳遞局限于一定尺寸和持續(xù)一定的時間內(nèi)進(jìn)行才有效。據(jù)有關(guān)檢測報告證明,靜電放電的損害往往只有1O%造成電子元器件當(dāng)時失效,通常表現(xiàn)為短路、開路以及參數(shù)的嚴(yán)重變化,超出其額定范圍,器件喪失了其特定的功能;另外的90%會潛伏下來,造成積累效應(yīng)。一般情況下,一次ESD還不足以引起器件立即失效,但元件內(nèi)部會存在某種程度的輕微損傷,通常表現(xiàn)為參數(shù)有小的偏差或漂移。潛在的失效并不明顯,因而極易被人們忽視。若這種元器件繼續(xù)工作,隨著ESD次數(shù)的增加,積累效應(yīng)就會越來越明顯,其損傷程度會加劇,后導(dǎo)致失效。
微電子無塵車間設(shè)計中往往會因為靜電引起事故發(fā)生,因此在微電子無塵車間的設(shè)計裝修上,防靜電能力已經(jīng)成為評價其質(zhì)量的一個重要方面。微電子無塵車間靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,例如氣流的流動,氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服與衣服之間的摩擦,再加上工藝上的研磨、噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作等可能產(chǎn)生靜電。