Mini CPS 系列微型真空探針臺(tái)是一款門用于材料電學(xué)表征和測(cè)量的微型桌面型電學(xué)測(cè)量臺(tái)，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測(cè)量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行電學(xué)測(cè)量評(píng)估，是實(shí)驗(yàn)室測(cè)量薄膜材料電學(xué)性能的業(yè)工具，廣泛用于高校、科研、航天航空等域。

技術(shù)規(guī)格

溫度范圍：-160℃~450℃

升溫斜率：0-10℃/min

測(cè)量傳感器：PT100

制冷方式：電聲制冷或液氮制冷

降溫時(shí)間：30min~-160℃（液氮）

真空接口：KF25

光學(xué)觀察窗：26mm

測(cè)量環(huán)境：真空、惰性、氧化性、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)

控溫精度：±0.5℃

樣品臺(tái)尺寸：40×40mm

樣品尺寸：φ＜22mm

探針臂：4個(gè)

Y軸：行程±5mm，精度±0.01mm

X軸：行程±5mm，精度±0.01mm

Z軸：行程±5mm，精度±0.01mm

設(shè)備尺寸：529×618×456mm

數(shù)據(jù)格式：Excel格式

保修期：1年

功能特點(diǎn)

無(wú)人機(jī)外觀設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，讓低溫探針臺(tái)更加小巧精密；

XYZ三維移動(dòng)平臺(tái)的開(kāi)發(fā)，位移小分辨率10um以下；

電聲制冷機(jī)制冷加熱 平臺(tái)應(yīng)用開(kāi)發(fā)；

液氮制冷加熱一體化平臺(tái)應(yīng)用開(kāi)發(fā)；

利用機(jī)械彈性設(shè)計(jì)，低溫環(huán)境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品時(shí)損壞薄膜；

實(shí)現(xiàn)-160℃~450℃的制冷和加熱測(cè)量環(huán)境，控溫精度達(dá)到±0.5℃；

采用1000X放大鏡顯微鏡設(shè)計(jì)，有利于實(shí)時(shí)觀察樣品的測(cè)量狀態(tài)；

廣泛用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，可靠性高；

高低溫平臺(tái)、測(cè)量夾具、測(cè)量軟件等集成于一體，讓操作變得簡(jiǎn)單；

可以通過(guò)USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式 ;