PRO-SV 長(zhǎng)行程提升級(jí)載物臺(tái)

我們的 PRO-SV 載物臺(tái)的小步長(zhǎng)為 10 nm，是市面上的螺桿驅(qū)動(dòng)提升級(jí)，此外，它們還能在短的高度上提供長(zhǎng)的行程范圍。它們也是可以移動(dòng)高達(dá)60公斤質(zhì)量的長(zhǎng)行程升降級(jí)，同時(shí)提供出色的有效載荷可達(dá)性和幾何性能。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

支持 60 kg 負(fù)載能力，行程高達(dá) 50 mm，速度為 20 mm/s

通過高精度交叉滾子軸承提供出色的直線度和角性能

通過結(jié)合精密研磨滾珠絲杠、無槽力矩電機(jī)和低膨脹線性編碼器，實(shí)現(xiàn) 10 nm 步長(zhǎng)

通過高可靠性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供較長(zhǎng)的使用壽命

與 PRO-SL 和 PRO-LM 線性載物臺(tái)無縫集成

提供 ThermoComp，?可在不斷變化的環(huán)境中提供一致的性能

主要應(yīng)用

PRO-SV載物臺(tái)非常適合高度受限的應(yīng)用或堆疊多個(gè)定位級(jí)的情況，包括：

同步加速器和光束線樣品操作

晶圓檢測(cè)

表面計(jì)量

激光微加工

精密制造

在薄型封裝中實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)途旅行

與其他類型的垂直運(yùn)動(dòng)載物臺(tái)不同，PRO-SV 具有直接撞擊移動(dòng)滑塊的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。這提供了非常長(zhǎng)的垂直行程范圍，并保持了盡可能短的高度，從而可以自由，清晰地訪問用戶的有效載荷。在設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)時(shí)，小化工作點(diǎn)高度尤為重要，因?yàn)樗梢韵薅鹊販p少阿貝偏移，從而有助于提高整體精度。

精雕細(xì)琢，性能

通常與提升級(jí)相關(guān)的一個(gè)主要問題是幾何性能低于標(biāo)準(zhǔn)（即直線度、俯仰、滾動(dòng)和偏航）。PRO-SV為這個(gè)問題提供了一種創(chuàng)新的解決方案。在防蠕變和交叉滾子軸承的指導(dǎo)下，移動(dòng)滑塊在所有方向上都得到徹底的支撐，使PRO-SV成為市場(chǎng)上的商用提升級(jí)。此外，無槽無刷力矩電機(jī)直接連接到大直徑、精密研磨的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以極其平穩(wěn)、無齒輪的運(yùn)動(dòng)定位重的有效載荷。缺少皮帶、齒輪和撓性聯(lián)軸器有助于 PRO-SV 的高可靠性，并消除了因上鏈和間隙過大而產(chǎn)生的誤差源。

設(shè)計(jì)和集成靈活性的特性

PRO-SV專為無縫集成到多軸載物臺(tái)平臺(tái)，運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)和機(jī)器中而設(shè)計(jì)。它直接安裝在 Aerotech 的 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平移臺(tái)上，并配有可選的附件桌面，可將各種 Aerotech 旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)或其他工藝設(shè)備集成到該臺(tái)架上。直接耦合旋轉(zhuǎn)編碼器反饋是標(biāo)準(zhǔn)配置，并且存在幾個(gè)可選的高分辨率線性編碼器附加功能，以便在使用雙環(huán)路反饋工作時(shí)提高精度和高帶寬。當(dāng)有效負(fù)載管理至關(guān)重要時(shí)，PRO-SV可以配置一個(gè)線性編碼器以及一個(gè)保持制動(dòng)器，以提供額外的保護(hù)，防止意外損壞。

更多產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系：卜振磊 18612885992

通過熱補(bǔ)償減輕熱錯(cuò)誤?

溫度變化和熱效應(yīng)可能是精密機(jī)器中誤差的有害來源，絲杠傳動(dòng)特別容易受到影響。為了解決這個(gè)問題，PRO-SV載物臺(tái)具有Aerotech的ThermoComp?功能，這是一種集成的溫度補(bǔ)償解決方案，可在存在熱干擾的情況下提供準(zhǔn)確可靠的定位性能。它可以保護(hù)載物臺(tái)免受變溫環(huán)境和摩擦引起的自發(fā)熱的影響，即使在極端工業(yè)環(huán)境中，終也能為用戶提供過程的穩(wěn)定性。

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