如何使用吸附工藝技術(shù)處理半導(dǎo)體廢氣？

吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

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