電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。電子潔凈車間潔凈度級(jí)別可分為10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，萬級(jí)、十萬級(jí)等，電子潔凈車間潔凈度直接影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量。

電子工廠凈化廠房特點(diǎn)

>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產(chǎn)品

對(duì)化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。

對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定

對(duì)防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。