空氣凈化技術(shù)是電子廠凈化車間的核心。其中，主要的凈化技術(shù)包括過濾、靜電除塵、化學吸附等。過濾器可以有效地過濾空氣中的微粒，將空氣中的塵埃、等顆粒物截留下來。

靜電除塵技術(shù)則可以通過靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進一步提高空氣質(zhì)量?；瘜W吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機物。這些技術(shù)的綜合應用，可以確保車間內(nèi)的空氣干凈、清潔，符合生產(chǎn)要求。

電子工廠凈化廠房特點

>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產(chǎn)品

對化學污染物的嚴格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

微粒控制十分嚴格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。

高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。

對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定

對防靜電、電磁兼容等

大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬㎡