空氣凈化技術(shù)是電子廠凈化車間的核心。其中，主要的凈化技術(shù)包括過濾、靜電除塵、化學(xué)吸附等。過濾器可以有效地過濾空氣中的微粒，將空氣中的塵埃、等顆粒物截留下來。

靜電除塵技術(shù)則可以通過靜電作用將空氣中帶電粒子去除，進(jìn)一步提高空氣質(zhì)量。化學(xué)吸附技術(shù)則可以去除空氣中的有害氣體，例如甲醛、苯等有機(jī)物。這些技術(shù)的綜合應(yīng)用，可以確保車間內(nèi)的空氣干凈、清潔，符合生產(chǎn)要求。

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

凈化工程包括：亂流式、亂流式、復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型，空氣由過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

3、復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。