凈室,又稱無塵室、潔凈室或清凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的(如沒有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
凈室系統(tǒng),制造匹配規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,凈室內的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過凈室系統(tǒng)各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程:外氣經由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經由回風管道間(Mech. Chase),將凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格,透過循環(huán)風扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經過超高性能過濾網(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應至Fab區(qū)。
工業(yè)廠房,指直接用于生產或為生產配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間,還包括其附屬建筑物。
多層工業(yè)建筑的廠房絕大多數見于輕工、電子、儀表、通信、醫(yī)藥等行業(yè),此類廠房樓層一般不是很高,其照明設計與常見的科研實驗樓等相似,多采用熒光燈照明方案。機械加工、冶金、紡織等行業(yè)的生產廠房一般為單層工業(yè)建筑,并且根據生產的需要,更多的是多跨度單層工業(yè)廠房,即緊挨著平行布置的多跨度廠房,各跨度視需要可相同或不同。