凈室的定義為:將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫(yī)院內的手術室等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,凈室可以占據廠房很多位置。
凈室系統(tǒng),制造匹配規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,凈室內的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過凈室系統(tǒng)各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程:外氣經由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經由回風管道間(Mech. Chase),將凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格,透過循環(huán)風扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經過超高性能過濾網(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應至Fab區(qū)。
工業(yè)廠房,指直接用于生產或為生產配套的各種房屋,包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業(yè)、交通運輸、商業(yè)、建筑業(yè)以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業(yè)廠房除了用于生產的車間,還包括其附屬建筑物。
在一個建設場地內,確定各廠房設計方案時,宜使構配件的類型統(tǒng)一。
在技術經濟合理的基礎上,廠房的體形應力求簡單,避免設置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。
在編制廠房建筑構配件標準設計圖集時,應使用途相同的構配件具有限度的互換性。
廠房建筑設計除應符合本標準的有關規(guī)定外,還應符合現(xiàn)行有關國家標準的規(guī)定。