顯示領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導(dǎo)電薄膜,提高顯示器的性能和質(zhì)量。
集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內(nèi)部的導(dǎo)電線路、晶體管電極等關(guān)鍵部位。
優(yōu)勢(shì):銦的低熔點(diǎn)和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級(jí)制程對(duì)材料精度的要求。
防護(hù)措施
個(gè)人防護(hù):操作時(shí)佩戴防靜電手套、護(hù)目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風(fēng)良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠(yuǎn)離明火,廢棄靶材及碎屑應(yīng)收集于專用容器中,按危險(xiǎn)廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時(shí)需確保設(shè)備接地良好,防止電磁輻射對(duì)操作人員或周邊儀器的干擾。
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