碳化硅（SiC）緣何成為第三代半導(dǎo)體重要的材料？

在半導(dǎo)體行業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱器、支撐坩堝、隔熱罩等存，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。尤其是在SiC晶體生長(zhǎng)的過(guò)程，石墨中的雜質(zhì)更是晶體品質(zhì)優(yōu)劣的關(guān)鍵決定因素，我司石墨純度可達(dá)到5PPMW以下，滿足客戶生產(chǎn)環(huán)境中對(duì)石墨高純度的需求。

等靜壓石墨的典型特性：

的耐熱性和耐化學(xué)性

優(yōu)異的抗熱震性

高導(dǎo)電性

高導(dǎo)熱性

隨溫度升高強(qiáng)度增加

易于加工

可以以非常高的純度生產(chǎn) < 5 ppm