建筑布局和裝修方案:是潔凈實驗室-生物實驗室運行的基礎。由于微生物病菌的危險性,必須防止危險性微生物向外界擴散,地阻斷危險性微生物與外部環(huán)境的接觸途徑,同時避免微生物受外界污染,影響實驗結果的準確性,必須采取合理的實驗室布局和裝修方案。實驗室布局按照要求合理地劃分成清潔區(qū)、半污染區(qū)和污染區(qū),采用人與物分別設置專用通道,設置必要的緩沖間,采用一次隔離和二次隔離等措施,能有效的避免交叉污染,從根本上防止危險性微生物的擴散;實驗室裝修采用可靠的材料,合理的施工措施,保證潔凈實驗室-生物實驗室始終處于相對密封的環(huán)境,防止微生物的外逸,易于實驗室的清潔,同時避免外部對實驗室環(huán)境的破壞。
檢測方案:是潔凈實驗室-生物實驗室長期運行的保證。由于潔凈實驗室-生物實驗室的特殊性,除了進行嚴格的設計、施工、調試外,為確保其性,必須對其進行必要的工程檢測和嚴格的驗收,達到要求和使用要求后才可投入運行。另外,使用過程中的一些因素,如非專業(yè)的管理和使用,過濾器的更換等,都會對實驗室的性產生影響,因此,使用中的定期檢測與同樣重要。
無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。