濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。

無塵車間生產工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內空間密閉、平面布置曲折、風管交錯連通、復合裝修材料復雜，有的生產過程中使用易燃易爆物質，一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內部還設有大量的昂貴儀器和設備，易造成重大的人員傷亡和財產損失。

潔凈室

對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數(shù)要受到控制，還要對室內器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理。空氣潔凈技術不能殺滅，生物潔凈室運行管理中采取、措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。

目前，傳統(tǒng)方法為：紫外線、藥劑、加熱和臭氧法。它們可靠性都很好，應用為廣泛。

另外，整個被的潔凈室應通過送回風管形成循環(huán)狀態(tài)，每天開機做空氣1—1.5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行則需2小時左右。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴散作用明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。