除了凈化技術，電子廠凈化車間還需進行空氣流動管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制?？諝饬髁靠刂瓶梢源_保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進入凈化區(qū)域。空氣流動管理的合理應用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

電子凈化車間一般要求潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(小于3.5個)，1000級(小于35個)，10000級(小于350個)，100000級(小于3500個)。

電子工廠凈化廠房特點

>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產(chǎn)品

對化學污染物的嚴格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

凈化車間工程凈化系統(tǒng)不進行清洗，均會影響空氣潔凈等級。普通空調(diào)系統(tǒng)不是一次安裝完，多次安裝必然有一些污染物留在風管之中，如果不清理干凈，就會直接影響空氣的清潔度，所以在安裝過程中要邊施工邊清洗，并在驗證之前進行24小時空吹。